감광성 수지 조성물, 경화막의 형성 방법, 경화막, 유기 el 표시 장치 및 액정 표시 장치

Photosensitive resin composition, method for forming cured film, cured film, organic electroluminescence display device, and liquid crystal display device

Abstract

과제 경화 감도, 투과율, ITO 스퍼터 적성 및 컨택트 홀의 형성성이 우수한 감광성 수지 조성물을 제공하는 것. 해결 수단 (A) 카르복시기가 산 분해성기로 보호된 잔기를 갖는 모노머 단위 또는 페놀성 수산기가 산 분해성기로 보호된 잔기를 갖는 모노머 단위 (a1) 과, 가교기를 갖는 모노머 단위 (a2) 를 함유하는 공중합체, (B) 광산 발생제, (C) 식 (c1) 로 나타내는 부분 구조를 분자 내에 적어도 2 개 갖고, 분자량이 600 이상 2,000 이하인 화합물 및 (D) 용제를 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물. (식 (c1) 중, R 1 및 R 2 는 각각 독립적으로 메틸기 또는 tert-부틸기를 나타내고, R 1 및 R 2 중 적어도 하나는 tert-부틸기이고, R 3 은 -O- 또는 -NH- 를 나타낸다)

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    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2008247780-AOctober 16, 2008Fujifilm Corp, 富士フイルム株式会社オキシムスルホン酸化合物、及びそれを用いた感光性組成物
    JP-2009098616-AMay 07, 2009Fujifilm Corp, 富士フイルム株式会社ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法

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